技术编号：5264812
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于微机电系统(MicroElectromechanical Systems, MEMS)技术的黏度传感器芯片，更确切地说，是。背景技术随着传感器技术和MEMS技术等学科的不断进步，有力地促进了流体黏度测量技术的发展，涌现了一些新的基于MEMS技术的流体黏度测量方法，以解决传统黏度测量方法所存在的诸如测量所需样品量较大、不能实时测量及输出的多为模拟量信号等缺点。基于硅微悬臂梁振动法测量流体的黏度，即是基于MEMS技术测量流体黏度的方法之一。它...
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