技术编号：5264815
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电装置，尤其涉及应用电容读取技术的微机电装置。背景技术微机电系统(MicroElectro Mechanical Systems,MEMS)为一个智能型微小化的系统，用来执行感测、处理或致动的功能。由于微机电系统发展出可将两个或多重领域的性质，如电子、机械、光学、化学、生物或磁学等技术整合在单一或多个芯片中的技术，因此以微机电系统的技术制作出的装置可大幅缩小传统装置的体积。举例来说，请参考图1，其显示传统的倾角计/倾角开关100，借着滚珠...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。