技术编号：5264832
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使用MEMS技术的原子蒸气腔室及其制备方法，属于微机电系统 (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)领域，特别涉及一种微纳米结构的原子蒸气腔室制备与封装工艺。原子蒸气腔室可用于MEMS原子钟、MEMS原子陀螺仪、MEMS原子磁强计等MEMS原子器件。背景技术集成电路工艺以及电子器件的小型化和多功能集成推动了微机电系统技术的迅猛发展。微机电系统采用先进的半导体工艺和技术，将机械、电子甚至系统集成在一块芯片...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。