一种制造抛物凹面微透镜阵列的介电泳力压印成形方法技术资料下载

技术编号:5264901

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本发明属于微制造领域,具体涉及。背景技术微透镜制造方法在工业生产的实验研究中得到广泛的应用和探索,如阻蚀胶热回流技术、激光或聚焦离子束直写技术、微透镜压印成形技术等。然而目前的众多技术普遍面临一些技术难题,如高质量的透镜表面、大的数值孔径、非球面透镜制造以克服球差及其它由球面形状所引起的光学缺陷、制造成本高效率低。微压印成形技术虽然可以实现大面积、 低成本、高精度的制造微透镜阵列,但该工艺需要较大的机械压力并由此导致一些工艺缺陷,如损坏模具、压力均勻性难以...
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