技术编号：5264908
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电系统(MEMS)，特别是涉及一种横向梳齿型微机械震动能量收集器，主要用于微小型系统的能量转化和供给。背景技术通常在众多机械电子组件特别是MEMS组件中，需要动力系统来提供组件运转的动力。但是，由于这些器件尺寸较小、集成度较高，或者封装外壳空间紧凑的限制，电池或者燃烧动力系统的这些外部动力系统难以用于这些MEMS应用中，且更换和维护动力系统复杂困难。此外，电池使用寿命因为其体积受限而无法大幅度提高，因此需要频繁更换，而电池使用一段时间后还...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。