技术编号：5264931
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米技术和半导体器件制造，尤其涉及。背景技术随着国防、医疗器械和电子工业的不断发展，微机/纳机系统领域(MEMS/NEMS ) 的研究正呈现突飞猛进地增长。一维纳米材料，包括纳米线/棒、纳米带、纳米针、纳米同轴电缆和纳米管等，具有独特的电学、力学、光学以及它们之间的交互耦合效应等性质，被认为是构筑下一代电子、光电子、纳机电器件的基础。氧化锌是典型的直接带隙宽禁带半导体材料，具有特殊的导电、导热性能，化学性质非常稳定。同时，氧化锌具有压电特性，在非...
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