技术编号：5265045
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子机械。涉及一种基于SOI的MEMS器件电极互连方法。 背景技术SOI技术是在上个世纪80年代迅速发展起来，被成为21世纪的硅集成技术。随着SOI工艺技术的逐渐成熟和SOI硅片成本的不断降低，SOI应用领域也逐渐扩大，近年来广泛应用到MEMS领域。目前，国外SOI技术已经比较成熟。很多研究机构和公司MEMS器件，诸如压力传感器，惯性器件，高温传感器等，都已采用了 SOI技术。法国Tronic公司开发成功了 SOI工艺，对外进行MEMS加工多年...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。