技术编号：5265230
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的领域总体上涉及结构的微型制造。更具体地，本发明涉及形成适合用于镶嵌加工的有图案的基体。背景技术 微型制造包括制造很小的结构，例如具有微米或更更小数量级的结构特征。其中微型制造具有相当大影响的一领域是在集成电路的加工中。随着半导体加工工业继续争取较大的生产量、同时增加在基底上形成的单位面识的电路，微型制造变得越来越重要。微型制造提供更大的加工控制，同时允许不断地缩小所形成的结构的最小特征尺寸。在集成电路的制造期间所采用的普通加工包括金属导线和触点的制...
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