技术编号：5265233
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微纳米仿生结构的制作方法，具体涉及高深宽比微纳层次结构的制作方法，可用于制作一种仿壁虎毛的高深宽比微纳层次结构，该结构本身即为一种适应不同表面又能轻易脱附的强效干性粘合剂。背景技术近些年来，在微机电系统(MEMS)领域，各种商品化的MEMS器件出现并成功应用在航天航空、生物医学、能源交通、科学仪器等领域。由于MEMS器件特有的微小尺寸，其安装和固定一般采用粘合剂方式。目前广泛应用的粘合剂几乎都是湿性粘合剂(如粘合胶带、胶水)，它们因一些固有特性，...
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