技术编号：5265253
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体工艺领域，特别涉及一种。背景技术微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)是将微机械元件、微型传感器、微型执行器、信号处理与控制电路等集成于一体的微系统。随着MEMS与微电子、 光电以及新兴纳米技术的融合，MEMS技术已在越来越多的学科与领域内得到了更为广泛的应用。MEMS器件种类繁多，没有标准化的封装方法。MEMS封装成本占制造成本的50% 80%。因此，研究开发低成本、高性能、圆片级的ME...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。