技术编号：5265282
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体加工工艺，特别涉及一种疏水疏油表面微纳结构及其制备方法。背景技术近三十年来，通过模拟荷叶、水蜘蛛等自然界的微纳米结构，人们利用微机电系统 (MEMS)技术、纳米技术等成功研制了许多接触角超过150度且易于滑动的超疏水材料。所述超疏水材料不仅可以减少水和其他高表面能溶液的污染以及流动阻力，还可以实现自清洁效果。超疏水材料结构通常是规则的微立柱或者非设计、难以精确控制的微纳米球、微纳米纤维、孔隙等。但是，表面张力低的液体例如油类，有机溶剂等(表...
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