技术编号：5265349
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种PDMS微掩膜成型加工技术，具体地说就是一种制备脆性材料喷砂微加工时用到的柔性掩模微结构的批量制造方法。背景技术喷砂工艺是一种传统的机械加工工艺，主要用于对脆性材料(如玻璃、陶瓷等)的表面进行加工。它将喷砂砂材通过压缩空气进行加速，沿设定的方向准确撞击待加工材料的表面，进而产生刻蚀效果。由于喷砂工艺是将砂材直接撞击在待加工材料的表面，因此可以将砂材在加速过程中产生的动能高效率地转化为刻蚀的能量，故喷砂工艺的刻蚀速率很高。同时，现在多数的喷砂机...
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