技术编号：5265410
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关一种微机电系统(MEMQ装置及其半成品与制造方法，特别是关于一种在制造过程中可防止元件因静电造成损坏的微机电装置及其半成品与制造方法。背景技术微机电系统装置包含一可动元件，经由感测或控制可动元件的运动物理量可实现微机电系统装置的各项功能。然而，在微机电系统装置的制造过程中，例如干式蚀刻、离子植入或机械研磨等，可能使微机电系统装置中的元件带有电荷，导致元件间因静电而黏附 (stiction)及/或元件的扭曲变形(distortion)。因此，如何...
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