技术编号：5265477
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种谐振器结构，具体地涉及MEMS (微电子机械系统)谐振器，以 及制造这种谐振器的方法。背景技术在电子装置中的定时参考已经机械实现很长时间。在很多应用中存在着振荡器 封装的石英晶体谐振器。石英晶体谐振器的高品质因数和低温度漂移意味着它具有高稳 定性，并且因此被选作电子装置中的定时参考。另一方面MEMS谐振器也是由微型元件可操作地设置在衬底上形成的器件。 MEMS谐振器通常通过利用光刻以及其他微加工技术以制造例如传感器和驱动器而构 建。微机械谐振...
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