技术编号：5265675
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及纳米级高精度控制热丝化学气相沉积生长薄膜材料设备，特别是在三维空间上纳米级的控制精度，适用于在极高温(2000°C )背景下宽温度范围(-196 3000C )内的纳米级高精度控制。背景技术热丝化学气相沉积设备是当前工业化中广泛应用于生长薄膜涂层与厚膜材料的设备，设备结构简单、工艺较为成熟、制造技术要求不高、方便简单操作、沉积面积大；但是在热丝沉积设备中温度场、等离子场、以及相应的沉积场，均是以钨、钽热丝为轴心呈圆柱壳层分布，且沿圆柱的径向...
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