技术编号：5265754
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微光学装置，并且更具体地，涉及微光学传感器和感测参数的方法。背景技术在微传感器中使用悬臂型装置。例如，在加速度计中，悬臂梁的位移或偏转可以成为对要感测或监测的加速度的指示。作为另一示例，在生物芯片实验室(lab-on-chip)应用中，可以测量悬臂梁的偏转，作为对淀积在悬臂梁上的生物质量的指示。如附图中的图1所示，已知的是通过包括悬臂外部的光源的光学布置来测量悬臂梁的偏转，其中来自该光源的光束照射到悬臂梁上。从悬臂梁反射的光由外部的位置敏感光检测...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。