技术编号：5265820
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种谐振式加速度计结构，特别是一种“田”字形双轴谐振式硅微机械加速度计结构，属于惯性导航设计领域的MEMS (Micro-electromechanical Systems)传感器设计方向。背景技术加速度计面世后一直作为最重要的惯性仪表之一，用在惯性导航和惯性制导系统中，与海陆空天运载体的自动驾驶及高技术武器的高精度制导联系在一起而受到重视。20 世纪40年代初，德国人研制了世界上第一只摆式陀螺加速度计。此后的半个多世纪以来， 由于航空、航海和航...
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