技术编号：5265852
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种带位移自检测功能的3-D0F硅基平面并联定位平台及制作方法，具体地说是一种米用侧向平动静电梳齿驱动的3-D0F娃基定位平台，可实现X和Y向的平动以及沿Z轴的转动，且在该平台上集成了基于压阻检测技术的位移检测传感器，可实现对各个运动方向位移的实时检测和控制。背景技术微动机器人作为微操作系统的一个重要组成部分，在精密机械工程、光学调整、光纤作业、数据储存、生物工程等领域具有广阔的应用前景。近几年来，由于微纳加工技术的不断完善，深度反应离子刻蚀...
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