一种基于soi和电铸技术的金属纳米线阵及其制备方法技术资料下载

技术编号:5265884

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本发明属于微纳加工中金属纳米线阵及其制备的领域,特别涉及一种基于SOI和电铸技术的金属纳米线阵及其制备方法,用于亚波长人工电磁材料的结构单元。背景技术金属纳米线是一种在横向上被局限在数百纳米以下,而纵向无限制的一维纳米结构。金属纳米线中的电子在横向受到量子束缚,能级不连续,因此具有许多在大块或三维材料中没有发现的有趣性质,如电阻的量子化、优良的电催化性质等,存在广泛的应用。而随着亚波长人工电磁材料的兴起,金属纳米线的应用得到了进一步的扩展。由于金属纳米线也...
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