技术编号：5265916
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种可用于超高密度探针存储的纳机电探针，更确切的说是一种可用于原子力显微镜，以金属硅化物为针尖的导电探针，属于微/纳机电系统(M/NEMS)器件制备。背景技术各种扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope, SPM)已广泛应用于材料、物理、化学、生物、微电子、信息技术等领域。在数据存储器中，用作存储数据的信息点尺寸大小是影响存储密度的最直接因素。由于SPM技术能够直接对单原子进行操作，因此可以利用扫描探针对存储介质施加局域...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。