技术编号：5265984
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微纳结构加工，特别是ー种具有力反馈控制的微探针刻划加エ方法。背景技术基于机械去除的加工技术由于具有加工设备简单、可以加工复杂三维乃至曲面微结构、低成本加工等特点而得到广泛研究。例如采用超精密金刚石车削加工技术已经可以进行复杂表面形状精密结构的加工。然而随着加工结构减小到微米尺度，受到刀具尺寸以及机床部件制造精度的限制，采用传统超精密机床很难加工出高精度的微结构。与此同吋， 基于原子力显微镜微探针的纳米机械刻划技术被广泛的用在纳米结构的制造领域。两...
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