技术编号：5266035
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在硅基板上具备使用半导体制造工艺而形成的可动电极和固定电极等结构体的MEMS器件及其制造方法。背景技术随着微细加工技术的发展，具备由使用半导体制造工艺而形成的可动电极和固定电极所构成的微小的结构体的机电系统器件，例如共振器、滤波器、传感器、电动机等所谓的MEMS(Micro Electro Mechanical System 微电子机械系统)器件备受关注。MEMS器件由于使用半导体制造工艺来制造，因此可形成与例如CMOS (Complementa...
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