技术编号：5266044
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS器件的制造。背景技术各种MEMS器件包括在施加的电压下偏转的压电致动器。这种器件的示例包括响应于连接至流体路径的压电致动器的动作而喷射流体的流体喷射系统。喷墨打印机中的打印头模块是流体喷射系统的一个示例。打印头模块通常具有喷嘴的线列或阵列，这些喷嘴带有相应的喷墨路径和相关联致动器的阵列，并且从每个喷嘴喷射的墨点可被一个或多个控制器单独控制。打印头模块可以包括半导体打印头管芯，其被蚀刻为定义包括增压室(pumpingchamber)的流体流...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。