技术编号：5266195
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体领域，特别是涉及ー种微机械传感器及其制作方法。背景技术和传统传感器相比，采用微机械电子系统(MEMS)技术制作的微型传感器具有更小的面积，更高的集成度。并且由于采用微机械加工エ艺制作，基于MEMS技术的微型传感器也非常适合规模制造，具有极高的性价比。随着微机械加工技术的不断进步，MEMS传感器的性价比在不断提高，MEMS传感器的应用范围也在不断増加。其中硅基MEMS传感器由于借助了成熟的微电子エ艺，其制作成本得到进ー步降低，并易于实现传感器...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。