技术编号：5266197
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统领域，涉及一种能量采集器及其制备方法，尤其涉及一种基于柔性基底的微机电系统电磁式能量采集器及其制备方法，可以采集环境低频运动能量。背景技术随着社会生产需求的不断增长及微纳技术的快速发展，大量新型微纳器件与系统不断的开发出来并被广泛应用，特别是具有生物兼容性的用于防病治病的纳米药物输运和 定向治疗的微纳系统。目前这些微纳系统主要依靠电池来供电，而电池的寿命一般较短需要不断地更换。对于体积很小的微纳产品，更换电池是个复杂的操作，并可能会对产...
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