技术编号：5266296
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及聚合物的微结构加工技术，具体涉及一种PDMS弹性体选区刻蚀的工艺方法。背景技术近年来运用简单快捷的方法、廉价的原料获得薄膜表面微纳尺度上的微结构已经成为了材料科学以及化学领域的研究热点之一。随着微加工技术的飞速发展以及操作仪器精度的不断提高，在聚合物薄膜表面进行微纳尺度上的微结构加工已经发展出了许多成熟的加工方式，这些技术可以分为两类一种是自上而下方法，即光刻技术、纳米压印技术、软印刷技术、扫描探针加工技术等方法；另一种是自下而上方法，即基于物理...
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