技术编号：5266466
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电研究领域，特别是涉及一种低成本微纳一体化结构的制作。背景技术微纳结构器件的应用对象包括医疗、环境、能源、制药、国防和科学研究等诸多关系国计民生的领域。因此从一开始微纳跨尺度结构器件制作就受到了广泛关注。近年来，人们一直就如何制造功能化更强、集成度更高、价格更低廉的微纳结构器件开展了大量研究工作，其中关键技术是如何实现跨尺度制造，即把微、纳结构制作到同一片聚合物上，从而实现微纳跨尺度器件制造。 人们已经对微纳跨尺度集成制造方法开展了大量研究工...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。