一种基片强适应性纳米材料均匀成膜方法及其装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5266609

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本发明涉及一种材料加工制备领域和微细加工的材料制备方法,尤其涉及一种基片强适应性纳米粒子均匀化成膜方法及其装置。背景技术纳米材料在诸多方面有着广阔的应用前景,其中,纳米粒子和一维纳米材料的应用尤其受到学术界和企业界的重视。纳米粒子是一种尺度在几纳米到几百纳米水平的颗粒,也被称为零维纳米材料。一维纳米材料是一种具有大长径比、超大长径比的线状、管状、棒状的纳米结构功能材料,典型的一维纳米材料有氧化锌纳米棒、金纳米线、娃纳米线、碳化娃纳米线、碳纳米管等。这两种纳...
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