技术编号：5266686
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在半导体基板上具备MEMS结构体的MEMS器件。 背景技术近些年来，使用MEMS (Micro Electro Mechanical System微电子 机械系统)技术制作而成的MEMS器件十分引人注目。MEMS器件是在 半导体基板上制作微小的MEMS结构体，来用作传感器、振子等用途。 在该MEMS结构体上设有固定电极和可动电极，通过使用可动电极的挠 曲来检测产生于固定电极的静电电容等，来获得作为MEMS器件的特性。一般已知的是在IC (Inte...
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