技术编号：5266697
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体微机械，特别是涉及一种碳化硅微通道、 微通道阵列的制备方法。背景技术随着生物芯片技术的发展，微流体技术作为一项关键支撑技术得到了 人们的密切关注，微流体装置越来越多地应用到化学分析、生物医学等基 础研究领域。微流体系统所需的器件包括泵、阀、混合器、过滤器、分离器、微通 道等，微通道是微流体系统的重要元器件之一。目前，微流体主要是基于 半导体硅、玻璃、金属或高聚物等材料制备的，传统的制作方法是对玻璃和硅片进行刻蚀，并在此基础上通过键合制成成品...
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