技术编号：5266742
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。垂魏成的MEMS背景技术微机电系统(MEMS)装置是微机械和微电子系统的组合。一些MEMS装置可包括由导线连接在一起的两个芯片，可會^隹以实现这两个芯片之间的期望对准。附图说明附图示出了本系统和方法的多种实施例并且是说明书的一部分。示出的实施例只是本系统和方法的示例，并不限制本公开的范围。图1示出了根据一个示范性实施例的双层单芯片MEMS装置的顶视图。图2示出了沿图1中的截面2-2所取的该MEMS装置的横截面图。图3为示出根据一个示范性实施例的形成MEMS...
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