技术编号：5266756
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请案一般来说涉及微机电系统(MEMS)，且更明确地说涉及具有腔的MEMS及形成其的方法。背景技术微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或 其它蚀刻掉衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加 工工艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用，术语 干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收且/或反射 光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。