技术编号：5266789
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种测试的传感装置的制作方法，具体地说，是一 种。 背景技术随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展，各种薄膜材料广泛应用在各种微 器件中。这些薄膜材料的力学性能对MEMS器件的可靠性设计非常重要，所以测 试微米尺度薄膜材料的力学性能非常重要。微尺度环境下的拉伸测试实验的难点 之一就是微小力的施加与测量。因为在薄膜测试系统中，通常拉力在毫牛级，甚 至微牛级。所以如何精确控制拉力是决定实验结果正确与否的关键因素。目前商 用拉力传感器最小量程约在...
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