技术编号：5266827
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械器件，所述微机械器件具有静电电极驱动器， 例如梳状电极驱动。背景技术多种微机械执行器和传感器都是基于静电力的应用获得功能结构的 偏转和/或基于电容法决定功能结构的偏转。在很多情况下，执行器和/或 传感器实现其功能时需要通过一个或多个弹簧被可动地悬挂的实体的偏 转，其中实体应该至少在两个方向上可偏转。一般地，平移和/或旋转运动，例如转动，是可能的。为了实现上述目的，各种静态电极，所述静态 电极以独立的方式相互电接触，可以安装在可动实体的下...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。