技术编号：5266835
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用各向同性刻蚀工艺形成精细结构部件的制造方法。本发明还涉及用该制造方法形成的精细结构部件，以及使用该精细结构部件的产品。背景技术随着精细结构(fine-structured)制造技术的新发展，人们已经尝试使用精细结构制造技术给各种现有产品提供较强功能、较高性能、及附加价值。特别地，目前，由于可能在与光波波长的数量级相应的精细尺寸下执行精细结构部件工艺，所以在需要精细结构部件的各种领域中进行试验成为必要。例如，在装配有背光单元地液晶显示器领域中，...
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