技术编号：5266848
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关一种降低事后释放玻璃基材时间的方法，尤指一种利用预蚀刻玻璃基材以降低事后玻璃基材释放时间的方法。(2)背景技术微机电系统(Micro Electro Mechanical System)是世界各国积极介入的一个新兴领域，其是为整合的微元件或系统，包含利用集成电路(IntegratedCircuit，IC)相容批次加工技术制造的电子和机械零件，该元件或系统的大小从微米至毫米皆有。微积电系统的应用领域极为广泛，包括制造业、信息业、航太工业、交通运输业...
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