技术编号：5266855
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于存储硬盘用基板的研磨液组合物、和使用该研磨液组合物 的、抑制了托架响声和/或微凹坑产生的存储硬翻St及的研磨方法以及存储硬盘用基板的制造方法。背景技术对于近年来的存储5赠驱动器，为了寻求高容量、小径化并提高记录密度， 要求减小单位记录面积，降低磁头浮动幅度。与此相伴，在存储硬盘用繊(以 下称为磁盘用基板)的制造工序中，研磨后所要求的表面质量也日益严格，表面粗糙度以及起伏的大小和深度也M越小。对于这类要求，提出了对作为研磨粒子的二氧化硅粒子的粒...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。