技术编号：5266876
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统，具体涉及一种以聚酰亚胺为机械载体的薄膜微桥结构，特别是用于测辐射热计阵列单元的、以聚酰亚胺为机械载体的薄膜微桥结构。背景技术根据探测原理不同，红外探测器可分为光子探测器和热探测器两类。光子探测器探测灵敏度高、响应速度快，但它优良的探测性能是以复杂的制冷设备做保障的，使其在低功耗、低重量等要求的应用中受到限制。相对于光子探测器而言，红外热探测器具有响应波段宽，无需制冷，可在常温下工作的优点。特别是上世纪90年代以来，兼具红外辐射敏感和信...
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