技术编号：5266877
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种利用梳状驱动器的微机电装置，特别涉及在角度垂直梳状驱动器控 制下的可倾斜的光学微镜阵列。背景技术静电驱动的光学微机电装置(MEMS)中主要要解决的是获得相对大的旋转角同 时降低驱动电压，尤其在开关轴(switching axis),即"钢琴(piano)"轴或Y轴。常 规的双轴微机电(MEMS)装置，例如于2005年8月23日授予Miller等人的美国专利 第6,934,439号和于2006年8月22日授予Mala等人的美国专利第7,095,...
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