技术编号：5266951
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于微机械加工技术的微型电场传感器的封装结构。背景技术地面和空中大气电场在雷电预警、气象监测等领域逐渐成为不可或 缺的重要参量，具有重要的军事意义和巨大的经济效益。借助电场传感 器对近地面和空中大气静电场变化的监测，可以获取准确的气象信息， 从而为导弹、火箭和卫星等飞行器的发射升空提供重要的安全保障，也 可进行地震等重大灾害预报。除此之外，电场传感器在工业生产、电力 和科学研究等领域也具有重要的应用需求。基于微机械加工技术(MEMS技术)的微...
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