技术编号：5266985
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及模具(mold)、模具制造工艺、处理装置和处理方法。 背景技术近年来，用于将设置在模具上的微细结构转印到诸如树脂材料、 金属材料等的待处理部件上的微细处理技术已得到开发并受到关注。 该^支术净皮称为纳米压印(nanoimpriiit)或纳米压纟丈(nanoembossing )， 并提供几纳米的量级的处理分辨能力。为此原因，该技术可望替代诸 如步进器(stepper)、扫描仪(scanner)等的曝光设备被应用于下一 代半导体制造技术。并且，该技...
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