技术编号：5267031
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于制造传感器用的、尤其是机动车传感器用的罩形晶片的方 法。本发明还涉及一种用于制造具有至少一个传感器的传感器堆栈、尤其是惯性传感器堆 栈的方法。此外，本发明涉及一种罩形晶片、一种具有根据本发明的罩的传感器，以及一种 具有根据本发明的传感器的衬底装置。背景技术用于测量加速度和/或偏航率的传感器、特别是微机电传感器(MEMS传感器)、尤 其是电容式惯性传感器通常与IC芯片一起封装在塑料壳体中，该IC芯片分析和预处理传 感器原始信号。在将传感器安...
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