技术编号：5267037
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电或纳米机电谐振器结构以及结合所述谐振器结构使用的方法。通常，高品质(“Q”)因数的微机电谐振器被认为是频率参考和滤波器的有希望选 择。然而，为了实现更高的频率，这种谐振器的尺度正在越缩越小。更小的尺度导致驱动和 /或感测电容变小，这可能又对谐振器的信号强度、稳定性和/或“Q”因数造成不利影响。需要一种有助于克服上述一个、一些或所有缺点的谐振器结构。其中需要具有增 加的驱动和/或信号电容的微机电和/或纳米机电谐振器，以增加谐振器的信号强度，稳...
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