技术编号：5267085
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。4^发明涉及一^t基于MEMS (Micro Electro Mechanical System)的 无限传感器的自供电才狭及其制造工艺，属于电子。 背景技术电力设备在线监测系统，由各类传感器组成。通过传感器测量设备的 电气量和物理量，了解电力系统设备运行状况。当前世^国正在着力发 展智能电网，电气设备智能化是电网智能化的重要组成部分。完善的电力 设备在线监测系统可以使封闭的电力设备"透明化"、信息化，进而实现 智能化。传统的电力设备在线监测系统,一^J^...
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