技术编号：5267102
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制造多层三维器件或结构，特别涉及通过制造和连接多个独立结构层 而形成多层三维微器件或微结构。背景技术多层制造技术是目前最有发展前景的一种制造复杂三维微器件或微结构的制造 技术。美国专利5，190，637和6，027，630提供了两种使用多层电化学沉积来制造三维金属 微器件或微结构的制造方法。这两种方法的共同点可归纳如下1.三维微器件或微结构由连续的一层一层叠加的方法制得。2.每一层至少包含两种材料，其中至少有一种结构材料和一种牺牲材料。3.每一层...
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