技术编号：5267130
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明披露了一种保护装置，特别是一种应用在微机电系统以及接触垫上的保护直O背景技术随着科技的发展以及半导体技术的发展，电子元件已成功地应用于各种生活层 面。微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)技术，是利用已知的半导体的 工艺来制造微小的机械元件，通过半导体技术例如电镀、蚀刻等方式，可完成具有微米尺寸 的机械元件。常见的应用有在喷墨印表机内使用的电压控制元件，在汽车中作为侦测汽车 倾斜的陀螺仪，或者是麦克风中...
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