技术编号：5267180
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统制造领域，特别涉及。背景技术微机电系统(MEMSMicroelectro mechanical system)是一种体积非常小、质量非常轻的机电一体化产品，其量度以微米为单位，其内部单元包含微型传感器、微执行器如微马达、微齿轮、微泵、微阀门等以及相应的处理电路。微机电系统源于娃微细加工技术，是微电子、材料、机械、化学、传感器、自动控制等多学科交叉的产物。实现微机电系统的主流工艺包括表面硅加工工艺、体硅加工工艺和以LIGA为代表的三维非硅...
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