技术编号：5267329
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微机电系统的装置，具体是一种弧形MEMS柔顺双稳态机构。背景技术由于柔顺双稳态机构易于加工，机械性能良好，定位准确等显著特性，引起了世界范 围内的广泛关注，并逐渐成为微机构学研究领域的新热点。柔顺机构，采用大变形柔性构 件代替刚性构件，当机构传递运动时，不仅由运动副传递运动，还能从其柔性部件的变形 中获得一部分运动。柔顺机构具有成本低和提高性能等优点，同时，可以避免振动冲击、 摩擦、磨损等缺陷。双稳态机构，是指在构件运动过程中至少具有两个...
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