技术编号：5267346
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。使用自组装材料以指引可寻址阵列的化学钉扎背景技术具有纳米量级的尺寸的部件的结构被考虑应用在光学、电子学、机械学、磁学等等 领域中。纳米结构包括例如称为纳米颗粒、纳米管或量子点的多种结构，并且可能用作有序 及复合材料的构建嵌段。对于包括位元图案化(bit patterned)介质(BPM)和离散磁轨介质(DTM)的数据 存储介质，对超高密度的点阵列或线阵列的小至25nm或更小周期的图案化是合乎需要的。 然而，由于光刻受到衍射极限的限制，常规光刻的分辨率通常被...
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