技术编号：5267347
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电结构，尤其涉及一种对偏航角加速度敏感的陀螺仪，该微 机电结构具有增强的机械特性，在抑制加速度噪声方面尤为如此。背景技术我们都知道，显微机械加工技术可以在半导体材料层中制造微机电结构或系统 (MEMS)，半导体材料层淀积在(例如，多晶硅层)或者生长在(例如，外延层)牺牲层上，该 牺牲层通过化学刻蚀的方法被去除。采用这种技术构造的惯性传感器、加速度计以及陀螺 仪例如在汽车领域、惯性导航或便携式装置的部件中取得了逐步的成功。尤其，本领域技术人...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。